BEAM DIAGNOSTICS

                      BEAM PROFILE                                                                                BEAM CURRENT

                      Single wire                                                                                             Faraday cups         

                      and multi-wires dynamic                                                                             From 23 to 84mm opening

       High accuracy

       Stepper motor

                      BEAM SELECTION                                                                            FULLY EQUIPPED DIAGNOSTIC TANK

                      Slits                                                                                                               Turnkey beam measurement solution 

       Select ions after spectrometer                                                              Available with various diagnostics 

                                                                                                                                     Command control and measurement software included 

束流诊断系统

                      束流截面                                                                                              束流电流强度

                      单线型                                                                                                  法拉第杯         

                      动态多重型                                                                                                  23mm-84mm开口直径

       高精度

       进步电机控制

                      束流选择                                                                                                全套的束流诊断平台

                      狭缝器                                                                                                           “交钥匙”束流检测方案 

       分光仪后选择离子                                                                                适用于各种诊断需求

                                                                                                                                      测量软件指令控制